餘弦科技

記憶體元件特性自動化量測平台

基於 Keysight B1500A,ReRAM/MRAM 元件 Forming/Set/Reset/Endurance/Retention 全流程自動化

基於 Keysight B1500A 半導體參數分析儀(B1517A HRSMU + B1530A WGFMU)開發的 ReRAM / MRAM 元件特性分析系統。取代手動 EasyEXPERT 操作,自動化 Forming / Set / Reset / Endurance / Retention 全流程;以 Python + PyQt6 打造操作介面,量測可重現、可追溯,並可匯出研究級報告。

專案內容

  • 儀器連線管理(GPIB 通訊、模組自動偵測、連線監控)
  • Forming 操作(初始化導電路徑,含電流保護機制)
  • Set / Reset 操作(可程式化脈衝:電壓、時間、斜率可調)
  • 電阻狀態讀取(高精度 DC,自動判讀 HRS / LRS)
  • Endurance 測試(自動循環:次數、間隔、中斷可設)
  • Retention 測試(長時間資料保持性,含定時掃描)
  • 資料視覺化(即時波形、I-V 曲線、電阻分布統計)
  • 資料匯出(CSV / Excel + 自動報告產生)
  • 安全機制(硬體保護、軟體限流、異常自動停止)

現場照片與成果

Keysight B1500A 半導體參數分析儀與 SMU 模組
Keysight B1500A 半導體參數分析儀與 SMU 模組
控制電腦串接 B1500A 主機與量測線路
控制電腦串接 B1500A 主機與量測線路
Everbeing 探針台、顯微鏡與探針操縱器
Everbeing 探針台、顯微鏡與探針操縱器
探針針尖於晶圓表面接觸(量測關鍵點)
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